GW-870S晶圆甩干机

GW-870S 晶圆甩干机

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拥有完全的自主知识产权，零备件国产化率100%;主要性能指标对标Semitool SRD系列,配备先进的一体式触摸工控机及WIndows 10 操作系统,可根据客户的需求进行定制化配置,可选配SECS II/Gem协议功能。上、下两独立双腔室，可实现不同size晶圆互转。

相对进口设备，客户可大幅度节约采购成本、性能稳定、维护简单。

 产品优势                                                                                                                                                      应有领域

       1.设备已通过IOS9001认证及SEMI S2认证                                                                                               晶圆（wafer）  光刻板 

       2. 设备采用进口板材，外观设计精美                                                                                                        硅片（wafer）  掩模版              

       3. 主机采用研华工控触摸一体机                                                                                                               磷化铟（INP）  光罩版

           CPU:InterN2390  1.83GHz； 内存：8G ；硬盘：固态SSD 256G                                                         氮化稼（GaN)   蓝宝石

       4. 操作系统win10企业版，设备操作C#sharp 中英文界面；支持SECSⅡ/GEM协议                                    砷化镓（GaAs）光学材料

       5. 冷/热氮温度可控，采用PID精准控制                                                                                                     碳化硅（SiC）陶瓷材料

       6. 采用进口伺服马达，最大转速：2800rpm，速度稳定

       7. 设备运行平稳，转子动平衡≤0.5g

       8. 设备启动、停止时，有提示音乐，上下腔独立EMO

       9. 支持清洗钽酸锂，铌酸锂等材质晶圆，支持150μm薄片

       10. 得到用户一致的好评和认可